上海微系统所在300mm SOI晶圆制造技术方面实现重大突破
中国科学院上海微体系所官微音讯，近来，上海微体系所魏星研究员团队在300mm SOI晶圆制作技能方面获得突破性发展，制备出国内榜首片300mm 射频（RF）SOI晶圆。团队根据集成电路资料全国重点实验室300mm SOI研制渠道，顺次处理300 mm RF-SOI晶圆所需的低氧高阻晶体制备、低应力高电阻率多晶硅薄膜堆积、非触摸式平整化等许多核心技能难题，完成国内300mm SOI制作技能从无到有的重大突破。
来历：
证券时报
中国科学院上海微体系所官微音讯，近来，上海微体系所魏星研究员团队在300mm SOI晶圆制作技能方面获得突破性发展，制备出国内榜首片300mm 射频（RF）SOI晶圆。团队根据集成电路资料全国重点实验室300mm SOI研制渠道，顺次处理300 mm RF-SOI晶圆所需的低氧高阻晶体制备、低应力高电阻率多晶硅薄膜堆积、非触摸式平整化等许多核心技能难题，完成国内300mm SOI制作技能从无到有的重大突破。
来历：
证券时报